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CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征

来源期刊：金属学报2005年第5期

论文作者：程凡雄姜传海吴建生

关键词：CoSi2薄膜材料; 二维X射线衍射; 线形分析;

摘要：利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.

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程凡雄¹，姜传海¹，吴建生¹

(1.上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室,上海,200030)

摘要:利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.

关键词:CoSi2薄膜材料; 二维X射线衍射; 线形分析;

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