化学气相沉积制备Co-Re合金涂层的热力学分析
来源期刊：功能材料2019年第3期
论文作者：敬瑀 龚伟 王恩泽
文章页码：3170 - 6351
关键词：Co-Re合金涂层;化学气相沉积;热力学;模拟计算;
摘 要：Co-Re合金涂层是一极具潜力的抗高温烧蚀材料。利用HSC Chemistry 6.0软件对化学气相沉积Co-Re合金涂层进行模拟计算。分析结果表明,选择H2-Re2（CO）10和H2-Co（acac）2为反应体系,在0～1 000℃的温度范围内ΔG均小于零;反应产物Re和Co含量随沉积温度的升高而增加,但沉积过程中会有C单质产生;制备Co-Re合金涂层的最佳反应温度区间为400～600℃。
敬瑀1，龚伟2，王恩泽1
1. 西南科技大学材料科学与工程学院2. 西南科技大学制造科学与工程学院
摘 要：Co-Re合金涂层是一极具潜力的抗高温烧蚀材料。利用HSC Chemistry 6.0软件对化学气相沉积Co-Re合金涂层进行模拟计算。分析结果表明,选择H2-Re2（CO）10和H2-Co（acac）2为反应体系,在0～1 000℃的温度范围内ΔG均小于零;反应产物Re和Co含量随沉积温度的升高而增加,但沉积过程中会有C单质产生;制备Co-Re合金涂层的最佳反应温度区间为400～600℃。
关键词：Co-Re合金涂层;化学气相沉积;热力学;模拟计算;
