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BST铁电薄膜的制备及其性能的研究进展

来源期刊：材料导报2004年增刊第2期

论文作者：邱滟朱琳李元勋胡文成

关键词：铁电薄膜BST; 制备方法; 介电性能; 铁电性能;

摘要：Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性,得到了广泛的研究,近年来取得了很多进展.简介了BST材料的结构,并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素.

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邱滟¹，朱琳¹，李元勋¹，胡文成¹

(1.电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054)

摘要:Ba1-xSrxTiO3铁电薄膜具有优良的介电性、铁电性、热释电性,得到了广泛的研究,近年来取得了很多进展.简介了BST材料的结构,并综述了BST薄膜的制备方法及BST薄膜的性能测试和影响铁电性能的几个因素.

关键词:铁电薄膜BST; 制备方法; 介电性能; 铁电性能;

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