铟锡氧化物陶瓷靶的制备
来源期刊：材料开发与应用2011年第3期
论文作者：刘喜波 陈派明 杨硕
文章页码：26 - 29
关键词：铟锡氧化物;退火;喷雾造粒;靶材;
摘 要：研究了铟锡氧化物(ITO)粉末退火后的组织和结构,比较了不同状态的粉末和制备工艺对ITO靶材的影响。结果表明,纳米ITO粉末在800℃以下具有体心立方In2O3结构,1100℃退火后由In2O3和SnO2两相组成;ITO粉末经过喷雾造粒后,形成了实心球形颗粒并具有合理的颗粒级配,通过气氛烧结可以制备出高密度优良的ITO靶材。
刘喜波，陈派明，杨硕
中国船舶重工集团公司第七二五研究所
摘 要：研究了铟锡氧化物(ITO)粉末退火后的组织和结构,比较了不同状态的粉末和制备工艺对ITO靶材的影响。结果表明,纳米ITO粉末在800℃以下具有体心立方In2O3结构,1100℃退火后由In2O3和SnO2两相组成;ITO粉末经过喷雾造粒后,形成了实心球形颗粒并具有合理的颗粒级配,通过气氛烧结可以制备出高密度优良的ITO靶材。
关键词：铟锡氧化物;退火;喷雾造粒;靶材;
