Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究
来源期刊：功能材料2005年第10期
论文作者：李明伟 单英春 赫晓东 史丽萍
关键词：kinetic Monte Carlo; 红黑树; PVD; 薄膜;
摘 要：提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度.结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟.
李明伟1，单英春1，赫晓东1，史丽萍1
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,黑龙江,哈尔滨,150080)
摘要:提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度.结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟.
关键词:kinetic Monte Carlo; 红黑树; PVD; 薄膜;
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