退火气氛及扩散阻挡层对多层膜热稳定性的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2004年第11期
论文作者：徐可为 宋忠孝 杨振良
关键词：沉积Cu膜; 热稳定性; 扩散阻挡; 退火气氛;
摘 要：沉积在ZrN,TaN阻挡层上的Cu膜分别在真空和氢气、氮气的混合气氛下退火.利用SEM、XRD和电阻率来表征多层膜的热稳定性.实验结果表明:对于沉积在同种阻挡层上的多层膜在混合气氛中退火的热稳定性较真空退火的要高.对真空退火处理,沉积在ZrN阻挡层上的多层膜的热稳定性比沉积在TaN阻挡层上的要高.研究结果表明:多层膜的热稳定性的评价不仅跟多层膜本身的因素有关,如阻挡层的种类,还和退火气氛有关.
徐可为1，宋忠孝1，杨振良1
(1.西安交通大学,金属材料强度国家重点实验室,陕西,西安,710049)
摘要:沉积在ZrN,TaN阻挡层上的Cu膜分别在真空和氢气、氮气的混合气氛下退火.利用SEM、XRD和电阻率来表征多层膜的热稳定性.实验结果表明:对于沉积在同种阻挡层上的多层膜在混合气氛中退火的热稳定性较真空退火的要高.对真空退火处理,沉积在ZrN阻挡层上的多层膜的热稳定性比沉积在TaN阻挡层上的要高.研究结果表明:多层膜的热稳定性的评价不仅跟多层膜本身的因素有关,如阻挡层的种类,还和退火气氛有关.
关键词:沉积Cu膜; 热稳定性; 扩散阻挡; 退火气氛;
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