玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

高金海^1,2，李桢¹，张武勤¹，张兵临²

1. 郑州师范学院物理系2. 郑州大学物理工程学院 材料物理教育部重点实验室

摘 要：本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析。在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光。利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜。通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性。通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场?时,最大场发射电流密度达?。并对其发射机理进行了研究。

关键词：微波等离子体化学气相沉积;碳纳米管;场致电子发射;