ZnO薄膜结构表征的研究现状
来源期刊：材料导报2005年增刊第2期
论文作者：肖祁陵 张萌 徐鹏
关键词：ZnO薄膜; 结构分析; XRD;
摘 要：ZnO薄膜是继GaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料.针对目前对ZnO薄膜结构的分析,综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法,着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用.
肖祁陵1，张萌1，徐鹏2
(1.南昌大学材料科学与工程学院,南昌,330047;
2.南昌大学测试中心,南昌,330047)
摘要:ZnO薄膜是继GaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料.针对目前对ZnO薄膜结构的分析,综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法,着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用.
关键词:ZnO薄膜; 结构分析; XRD;
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