高锡含量锗锡合金和镍反应的形貌研究

孟骁然^1,2，平云霞¹，常永伟²，魏星²，俞文杰²，薛忠营²，狄增峰²，张苗²，张波²

1. 上海工程技术大学材料学院2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

摘 要：本文详细研究了高锡含量锗锡合金(Ge_0.92Sn_0.08)与镍在退火条件下的反应。通过表层电阻测试、原子力显微镜和透射电镜等表征手段,我们分别研究了镍锗锡材料在300℃、400℃、500℃温度下退火后的表面和界面形貌。研究表明:与镍和锗反应相比,镍和锗锡材料反应生成的镍锗锡薄膜热稳定性变差,退火温度400℃后镍锗锡薄膜表层电阻就迅速增加,样品表面变得不连续,团聚为平均长度200nm左右的岛状晶粒,样品表面和界面与电学性质都遭到了破坏。

关键词：锗锡合金;镍;热稳定性;