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离子束溅射技术制备PtRu纳米合金薄膜载体催化剂材料及其结构表征

来源期刊：贵金属2004年第4期

论文作者：李旸昝林寒杨滨

关键词：金属材料; 离子束溅射技术; PtRu纳米合金; 载体薄膜材料; 结构表征;

摘要：采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.

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李旸¹，昝林寒¹，杨滨¹

(1.昆明贵金属研究所,云南,昆明,650221)

摘要:采用离子束溅射技术,Pt和Ru双靶材通过制备工艺条件的设计,制备出含单质Pt、单质Ru及PtRu合金的纳米载体薄膜材料.采用X射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱等分析手段表征了薄膜材料的结构,验证了离子束溅射技术制备Pt合金薄膜的可操作性,并对Pt合金成膜规律进行了初步探索.

关键词:金属材料; 离子束溅射技术; PtRu纳米合金; 载体薄膜材料; 结构表征;

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