沉积电压对电泳沉积成膜均匀性的影响

来源期刊：材料保护2017年第11期

论文作者：魏磊 杨胡坤 刘耀 杨敬源

文章页码：44 - 48

关键词：电泳沉积;COMSOL仿真;流场;均匀性;沉积电压;

摘    要：沉积电压是电泳沉积工艺的重要参数之一。为研究其对电泳沉积成膜均匀性的影响,对带电粒子的电泳过程进行理论分析,并结合COMSOL多物理场接口,得出电泳过程的仿真图。结果显示:施加电压增大,流场流速增加,但电极间形成的流场相对均匀,膜层的均匀性也较好。沉积电压不高于100 V时,极间形成的均匀流场并不影响粒子均匀沉积;电压高于100 V时,极间形成的明显不均匀流场会影响粒子的运动与沉积,从而降低了膜层的均匀性。