天然高纯石英制备电子级硅微粉的实验研究
来源期刊:非金属矿2008年第5期
论文作者:吴红丹 张锦化 侯书恩
关键词:硅微粉; 球磨; 高纯; 起细;
摘 要:利用湖北省通山县天然高纯石英为原料,通过水淬、粗磨、酸洗、球磨成功制备出超细硅微粉.在硅微粉产品制备过程中提出一种新的球磨工艺和设备,采用聚氨酯球磨罐、氧化锆陶瓷球作为球磨设备,使用酸性溶液作为球磨介质,有效降低了球磨生产工艺的生产成本.硅微粉产品Fe2O3≤40μg/g,达到电子行业标准对硅微粉的技术指标要求.
吴红丹1,张锦化1,侯书恩1
(1.中国地质大学(武汉)材料科学与化学工程学院,武汉,430074)
摘要:利用湖北省通山县天然高纯石英为原料,通过水淬、粗磨、酸洗、球磨成功制备出超细硅微粉.在硅微粉产品制备过程中提出一种新的球磨工艺和设备,采用聚氨酯球磨罐、氧化锆陶瓷球作为球磨设备,使用酸性溶液作为球磨介质,有效降低了球磨生产工艺的生产成本.硅微粉产品Fe2O3≤40μg/g,达到电子行业标准对硅微粉的技术指标要求.
关键词:硅微粉; 球磨; 高纯; 起细;
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