TiN/TiCN多层调制结构薄膜的耐蚀性

任鑫¹，吴双全¹，李岩帅¹，赵瑞山¹，黄美东²

1. 辽宁工程技术大学材料科学与工程学院2. 天津师范大学物理与材料科学学院

摘 要：多弧离子镀和磁控溅射制备薄膜各有优缺点,将2种技术复合制膜的研究还少有报道。采用多弧离子镀和磁控溅射复合技术在304不锈钢基体表面制备了TiN单层和TiN/TiCN多层膜,采用扫描电镜、X射线衍射仪并结合电化学测试等着重研究了不同调制周期下薄膜组织结构与耐腐蚀性能的变化规律。结果表明:所制备的TiN/TiCN多层膜表面平整、致密,随着调制周期的减小,TiN/TiCN多层膜发生生长取向的转变,且具有(111)晶面生长织构; TiN/TiCN多层膜在3.5%NaCl溶液中的抗腐蚀能力优于基体和单层TiN薄膜,随着多层膜调制周期的减小,其抗腐蚀性逐渐增强,在λ=0.150μm时,多层膜的自腐蚀电流密度和极化电阻分别为0.106 7μA/cm~2和679.700 kΩ·cm~2,腐蚀速率下降到最低,具有良好的耐腐蚀性。

关键词：TiN/TiCN多层膜;复合离子镀;磁控溅射;调制周期;耐蚀性;