N₂流量对车用钢表面磁控溅射CrTiAlN涂层性能的影响

来源期刊：材料保护2018年第2期

论文作者：王军 张明

文章页码：53 - 175

关键词：CrTiAlN涂层;模具钢;磁控溅射;磨损;

摘    要：目前,关于N₂流量对磁控溅射CrTiAlN涂层性能影响的研究不多。在SDC99冷作模具钢表面以不同N₂流量条件磁控溅射CrTiAlN涂层,采用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度仪、显微镜和摩擦磨损试验分析涂层性能。结果表明:随着N₂流量的降低,涂层中Cr元素含量也随之下降,而N元素含量则逐渐增大,CrN（211）晶面的衍射峰缓慢增加,而CrN（200）衍射峰明显增加;CrTiAlN涂层硬度较基材提高约25%,随N₂流量降低,涂层的硬度逐渐增大;在60 m L/min的N₂流量下制备的CrTiAlN涂层和基体间结合力最佳,涂层对表面磨粒磨损情况起到最佳改善效果,此时磨痕的"犁沟"深度与宽度都减小,涂层耐磨性得到显著提高。