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氢化气相外延氮化镓生长中气氛的作用研究

来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期

论文作者：张宁施毅顾书林郑有炓张荣

关键词：氮化镓; 氢化气相外延; 横向外延生长; GaN; HVPE; LEO;

摘要：报告了氢化物气相外延技术中,在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响.实验发现生长气氛中氢的存在会显著改进材料的质量,这种作用被归之于氢气氛下氨气在气相中的反应下降以及生长表面较低的氮的活动能力.

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张宁¹，施毅²，顾书林²，郑有炓²，张荣²

(1.美国威斯康辛大学化学工程系,Madison WI 53706,美国;
2.南京大学物理系,南京,210093)

摘要:报告了氢化物气相外延技术中,在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响.实验发现生长气氛中氢的存在会显著改进材料的质量,这种作用被归之于氢气氛下氨气在气相中的反应下降以及生长表面较低的氮的活动能力.

关键词:氮化镓; 氢化气相外延; 横向外延生长; GaN; HVPE; LEO;

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