碘输运剂对CVT法制备ZnSe单晶的性能影响研究
来源期刊:稀有金属材料与工程2014年第4期
论文作者:刘翠霞 坚增运 罗贤 王宇鹏
文章页码:866 - 869
关键词:ZnSe晶体;化学气相输运法;碘输运剂;
摘 要:采用I2作为输运剂,以单质Zn和Se为原料运用化学气相输运法制备了ZnSe晶体。比较了不同I2含量下所生长ZnSe晶体的性能,借助XRD、SEM和EDS检测方法分析了ZnSe晶体的结构、形貌和成分。结果表明:I2含量对ZnSe晶体性能具有重要的影响,通过比较3组I2含量所制备的ZnSe晶体,确定出当I2含量为4 mg/cm3时,所生长的ZnSe晶体具有较好的结晶质量,其晶格常数为5.668 nm。测定ZnSe中Zn与Se的原子分数比为1:0.99,且只有1个衍射峰(2θ=27.2°),其晶面指数为(111)。SEM图像表面比较平滑,没有明显气孔。在此条件下,ZnSe晶体的红外透过性能最好,红外透过率为53.07%~62.61%。其他两种I2含量下所生长的ZnSe晶体结晶质量较差,XRD图谱显示有多个衍射峰,SEM图像表面凹凸不平,有明显气泡和孔洞,并且其红外透过率较低。
刘翠霞1,坚增运1,罗贤2,王宇鹏1
1. 西安工业大学2. 西北工业大学
摘 要:采用I2作为输运剂,以单质Zn和Se为原料运用化学气相输运法制备了ZnSe晶体。比较了不同I2含量下所生长ZnSe晶体的性能,借助XRD、SEM和EDS检测方法分析了ZnSe晶体的结构、形貌和成分。结果表明:I2含量对ZnSe晶体性能具有重要的影响,通过比较3组I2含量所制备的ZnSe晶体,确定出当I2含量为4 mg/cm3时,所生长的ZnSe晶体具有较好的结晶质量,其晶格常数为5.668 nm。测定ZnSe中Zn与Se的原子分数比为1:0.99,且只有1个衍射峰(2θ=27.2°),其晶面指数为(111)。SEM图像表面比较平滑,没有明显气孔。在此条件下,ZnSe晶体的红外透过性能最好,红外透过率为53.07%~62.61%。其他两种I2含量下所生长的ZnSe晶体结晶质量较差,XRD图谱显示有多个衍射峰,SEM图像表面凹凸不平,有明显气泡和孔洞,并且其红外透过率较低。
关键词:ZnSe晶体;化学气相输运法;碘输运剂;