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Al掺杂ZnO薄膜的制备及其电学性能研究

来源期刊:材料导报2009年增刊第1期

论文作者:张杨 赵淑金 李国晶 王红英 范树景

关键词:AZO薄膜; 溶胶-凝胶法; 电学性能; AZO thin film; sol-gel; electric properties;

摘    要:采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺杂铝的氧化锌薄膜.研究了不同的铝掺杂浓度、薄膜厚度以及退火温度对电阻率的影响,结果表明掺杂铝摩尔分数为2%、退火温度在550℃时电阻率最低,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小.通过XRD和SEM对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明样品表面相对平整、致密,AZO薄膜保持着ZnO六角纤锌矿结构,说明了Al原子对Zn原子的有效替位.

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Al掺杂ZnO薄膜的制备及其电学性能研究

张杨1,赵淑金1,李国晶1,王红英1,范树景1

(1.佳木斯大学材料科学与工程学院,佳木斯,154007)

摘要:采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺杂铝的氧化锌薄膜.研究了不同的铝掺杂浓度、薄膜厚度以及退火温度对电阻率的影响,结果表明掺杂铝摩尔分数为2%、退火温度在550℃时电阻率最低,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小.通过XRD和SEM对薄膜的组织结构和形貌进行了表征,结果表明样品表面相对平整、致密,AZO薄膜保持着ZnO六角纤锌矿结构,说明了Al原子对Zn原子的有效替位.

关键词:AZO薄膜; 溶胶-凝胶法; 电学性能; AZO thin film; sol-gel; electric properties;

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