NiTi形状记忆合金薄膜的相结构
来源期刊：金属学报2002年增刊第1期
论文作者：郭锦芳 柳美荣 王小平
关键词：形状记忆合金; 磁控溅射法; NiTi薄膜; 晶化热处理;
摘 要：采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响.结果表明,等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后,相结构明显不同,前者相结构主要为B2相,后者则为B2+M相;且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后,随着温度的升高,M相和第二相也相应增多.
郭锦芳1，柳美荣1，王小平2
(1.有研亿金新材料股份有限公司,北京,100088;
2.北京有色金属研究总院超导中心,北京,100088)
摘要:采用直流磁控溅射法制备了NiTi形状记忆合金薄膜,采用一步法对NiTi薄膜进行晶化热处理以使其获得形状记忆效应,研究了成分和晶化热处理对NiTi薄膜相结构的影响.结果表明,等原子比膜和富钛膜经相同晶化热处理后,相结构明显不同,前者相结构主要为B2相,后者则为B2+M相;且等原子比膜经过不同温度的晶化热处理后,随着温度的升高,M相和第二相也相应增多.
关键词:形状记忆合金; 磁控溅射法; NiTi薄膜; 晶化热处理;
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