Sol-gel法制备PZT铁电薄膜的疲劳影响因素研究进展
来源期刊:材料导报2004年第10期
论文作者:胡道甫 张兴国 陈春 刘军
关键词:PZT; 铁电性; 溶胶凝胶; 掺杂;
摘 要:简述了PZT铁电薄膜在制备和应用当中遇到的问题.围绕提高薄膜的疲劳性能,介绍了PZT铁电薄膜近年来在热处理、底电极、过渡层和掺杂等方面的研究进展,并分析了它们对材料电性能和疲劳性能的影响.最后提出了展望.
胡道甫1,张兴国1,陈春1,刘军1
(1.江苏大学材料科学与工程学院,镇江,212013)
摘要:简述了PZT铁电薄膜在制备和应用当中遇到的问题.围绕提高薄膜的疲劳性能,介绍了PZT铁电薄膜近年来在热处理、底电极、过渡层和掺杂等方面的研究进展,并分析了它们对材料电性能和疲劳性能的影响.最后提出了展望.
关键词:PZT; 铁电性; 溶胶凝胶; 掺杂;
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