ZnSe单晶CVT法生长与系统优化
来源期刊：无机材料学报2008年第4期
论文作者：刘长友 介万奇
关键词：硒化锌; 气相输运反应; 热力学分析;
摘 要：采用热力学数值计算的方法,分析了ZnSe-I2、H2、HCl和NH4Cl化学气相输运系统的特性.对比计算结果表明, ZnSe-NH4Cl系统具有压力高、输运反应焓变适中的特点. NH3分解产生的H2起着调节输运组分H2se分压的作用.以ZnSe-I2输运系统中实际输运组分分压值为参考,确定了ZnSe-NH4Cl系统中单晶生长工艺参数范围:温度在1000°C左右,NH4Cl的浓度范围在0.5～1.0mg/mL之内.采用该工艺生长了尺寸约为8mm×6mm×4mm 的ZnSe单晶,生长态(111)面摇摆曲线半峰宽为60.48",蚀坑密度(EPD)为(4.5～5.0)×104/cm2.
刘长友1，介万奇1
(1.西北工业大学材料学院,西安,710072)
摘要:采用热力学数值计算的方法,分析了ZnSe-I2、H2、HCl和NH4Cl化学气相输运系统的特性.对比计算结果表明, ZnSe-NH4Cl系统具有压力高、输运反应焓变适中的特点. NH3分解产生的H2起着调节输运组分H2se分压的作用.以ZnSe-I2输运系统中实际输运组分分压值为参考,确定了ZnSe-NH4Cl系统中单晶生长工艺参数范围:温度在1000°C左右,NH4Cl的浓度范围在0.5～1.0mg/mL之内.采用该工艺生长了尺寸约为8mm×6mm×4mm 的ZnSe单晶,生长态(111)面摇摆曲线半峰宽为60.48",蚀坑密度(EPD)为(4.5～5.0)×104/cm2.
关键词:硒化锌; 气相输运反应; 热力学分析;
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