碳含量对电弧增强反应磁控溅射方法制备BCN薄膜热稳定性的影响

陈向阳^1,2,3，张瑾¹，黄润⁴，马胜利^2,3

1. 安徽理工大学机械工程学院2. 安徽理工大学3. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室4. 安徽理工大学材料科学与工程学院

摘 要：利用电弧增强反应磁控溅射(AEMS)方法在高速钢基体上制备了BCN薄膜,通过改变石墨靶功率来调整BCN薄膜中碳元素的含量,采用傅里叶变换红外光谱仪、高分辨透射电镜、显微硬度计和划痕仪等设备研究了BCN薄膜的热稳定性。结果表明:BCN薄膜在高温下具有较好的热稳定性;随着碳含量的增加,高温退火后BCN薄膜原子排列的有序度增加,部分结合键发生转化或分解,结合力下降,BCN薄膜的热稳定性降低。

关键词：电弧增强反应磁控溅射;BCN薄膜;热稳定性;