气相色谱法测定高纯三氯氢硅中的总碳含量

来源期刊：中国无机分析化学2017年第1期

论文作者：刘英杰 刘新军 郑华荣 柯尊斌

文章页码：60 - 62

关键词：高纯三氯氢硅;氢气还原炉;总碳;气相色谱;

摘    要：将高纯三氯氢硅中的含碳物质在氢气还原炉内转化成甲烷,利用配备氢火焰离子化检测器的气相色谱仪进行测定,最后换算成总碳的含量。结果发现,高纯三氯氢硅中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基二氯硅烷等可能的含碳物质在转化炉内均具有良好的转化率,转化率大于85%。样品中含碳量的测定结果之间重复性好,精密度较高,相对标准偏差均小于10%。方法简单、快捷,准确度高,能很好地满足高纯三氯氢硅样品中对含碳物质的质量控制要求。