TiO2中间层对基于溶胶–凝胶法制备的VO2薄膜光学特性的影响（英文）
来源期刊：无机材料学报2013年第2期
论文作者：张玉波 黄婉霞 宋林伟 颜家振 施奇武 张阳
文章页码：229 - 234
关键词：氧化钒薄膜;复合薄膜;溶胶–凝胶法;光致亲水;热致相变;
摘 要：为了提高VO2薄膜的热致相变性能,采用复合结构与掺杂相结合的方法,首先通过溶胶–凝胶法在云母基底上制备锐钛型TiO2薄膜,再在光致亲水性处理的TiO2/云母基底上涂覆V2O5以及掺钨V2O5水溶胶,然后经热处理获得VO2/TiO2及VxW1-xO2/TiO2复合薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）研究薄膜的物相、表面形貌以及热致相变特性.结果表明,VO2/TiO2复合薄膜晶体生长为（011）面择优取向;VxW1-xO2/TiO2复合薄膜产生多种取向。TiO2中间层有助于使VO2薄膜生长致密,相变温度降低,更使VxW1-xO2/TiO2复合薄膜滞后温宽降至约4℃。
张玉波1,2，黄婉霞1，宋林伟1，颜家振1，施奇武1，张阳1
1. 四川大学材料科学与工程学院2. 四川工程职业技术学院
摘 要：为了提高VO2薄膜的热致相变性能,采用复合结构与掺杂相结合的方法,首先通过溶胶–凝胶法在云母基底上制备锐钛型TiO2薄膜,再在光致亲水性处理的TiO2/云母基底上涂覆V2O5以及掺钨V2O5水溶胶,然后经热处理获得VO2/TiO2及VxW1-xO2/TiO2复合薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（FESEM）、傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）研究薄膜的物相、表面形貌以及热致相变特性.结果表明,VO2/TiO2复合薄膜晶体生长为（011）面择优取向;VxW1-xO2/TiO2复合薄膜产生多种取向。TiO2中间层有助于使VO2薄膜生长致密,相变温度降低,更使VxW1-xO2/TiO2复合薄膜滞后温宽降至约4℃。
关键词：氧化钒薄膜;复合薄膜;溶胶–凝胶法;光致亲水;热致相变;
