阳极氧化法制备有序纳米多孔氧化铝膜的研究
来源期刊：材料开发与应用2007年第5期
论文作者：刘利峰 窦卫红 王超英 许启明 赵海丽
关键词：电化学阳极氧化; 纳米多孔氧化铝膜; 有序列阵;
摘 要：利用电化学阳极氧化的方法,在草酸溶液中,精确控制反应条件,在高纯铝片表面有序生长了纳米多孔氧化铝膜.试验中,分别采用一次阳极氧化和二次阳极氧化方法制备氧化铝膜.利用H3PO4溶液浸泡法对氧化铝膜进行扩孔处理.通过扫描电子显微镜对样品进行表征分析.结果发现,二次阳极氧化制备的氧化铝膜的孔洞分布较一次氧化的更为规则有序,并且孔径大小均匀一致.扫描电镜观察显示,氧化铝膜的扩孔过程可以去掉阻碍层,并调节孔径大小,溶去二次氧化后黏附在氧化层表面的一些杂质,从而使氧化铝模板更为规则有序,孔径均一.这种经过二次阳极氧化和扩孔处理得到多孔阳极氧化铝模板的方法简单,成本较低,可以为后续的纳米材料合成提供高质量的合成模板.
刘利峰1，窦卫红2，王超英1，许启明2，赵海丽2
(1.中国科学院物理研究所先进材料与电镜结构分析实验室,北京,100080;
2.西安建筑科技大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710055)
摘要:利用电化学阳极氧化的方法,在草酸溶液中,精确控制反应条件,在高纯铝片表面有序生长了纳米多孔氧化铝膜.试验中,分别采用一次阳极氧化和二次阳极氧化方法制备氧化铝膜.利用H3PO4溶液浸泡法对氧化铝膜进行扩孔处理.通过扫描电子显微镜对样品进行表征分析.结果发现,二次阳极氧化制备的氧化铝膜的孔洞分布较一次氧化的更为规则有序,并且孔径大小均匀一致.扫描电镜观察显示,氧化铝膜的扩孔过程可以去掉阻碍层,并调节孔径大小,溶去二次氧化后黏附在氧化层表面的一些杂质,从而使氧化铝模板更为规则有序,孔径均一.这种经过二次阳极氧化和扩孔处理得到多孔阳极氧化铝模板的方法简单,成本较低,可以为后续的纳米材料合成提供高质量的合成模板.
关键词:电化学阳极氧化; 纳米多孔氧化铝膜; 有序列阵;
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