集成热电堆传感器
来源期刊：控制工程1993年第1期
论文作者：A.W.Van Herwaarden 黄玢
文章页码：38 - 45
摘 要：本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。
A.W.Van Herwaarden，黄玢
摘 要：本文叙述集成硅热电堆和它们在硅传感器中的应用。首先概述热电效应及其在硅热电堆中的应用,重点阐述热敏传感器微结构的设计,其次讨论基于热效应的各种敏感原理,最后介绍利用这些原理最近研制的几种硅热电堆传感器。
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