溅射时间对硼掺杂ZnO薄膜性能的影响

来源期刊：材料导报2013年第18期

论文作者：化麒麟 付蕊 杨雯 杨培志

文章页码：16 - 40

关键词：ZnO∶B薄膜;溅射时间;光电特性;透光率;

摘    要：采用脉冲磁控溅射系统在玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌（ZnO∶B）薄膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、紫外-可见光-近红外分光光度计和四探针测试仪研究了溅射时间与薄膜的结构、光学和电学特性的关系。结果表明:ZnO∶B是多晶薄膜,具有六方钎锌矿结构且呈c轴择优取向,其透明导电性能优良,在可见光谱范围的平均透光率超过80%,薄膜电阻率随溅射时间延长而降低至3.0×10-3Ω·cm。