气态源分子束外延1.3μm VCSEL器件结构
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第2期
论文作者：劳燕锋 吴惠桢 黄占超 曹萌 刘成
关键词：垂直腔面发射激光器; 气态源分子束外延; 光电特性;
摘 要：采用气态源分子束外延(GSMBE)技术在InP(100)衬底上生长了InAsP/InGaAsP应变补偿量子阱为有源层和InP/InGaAsP分布布拉格反射镜(DBR)为上、下腔镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构.通过湿法刻蚀和聚酰亚胺隔离工艺制作出了1.3μm VCSEL,器件在室温下可连续单模激射,阈值电流约为4mA.实验测得的VCSEL结构反射光谱包括高反射带和腔模等参数与传递矩阵法拟合的反射光谱相符合;边发射电致发光谱的增益峰与腔模位置一致.
劳燕锋1，吴惠桢1，黄占超1，曹萌1，刘成1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海,200050)
摘要:采用气态源分子束外延(GSMBE)技术在InP(100)衬底上生长了InAsP/InGaAsP应变补偿量子阱为有源层和InP/InGaAsP分布布拉格反射镜(DBR)为上、下腔镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)结构.通过湿法刻蚀和聚酰亚胺隔离工艺制作出了1.3μm VCSEL,器件在室温下可连续单模激射,阈值电流约为4mA.实验测得的VCSEL结构反射光谱包括高反射带和腔模等参数与传递矩阵法拟合的反射光谱相符合;边发射电致发光谱的增益峰与腔模位置一致.
关键词:垂直腔面发射激光器; 气态源分子束外延; 光电特性;
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