从热蒸发多孔氧化硅薄膜表面形貌研究其生长机理

来源期刊：材料导报2015年第12期

论文作者：赵丽特 范东华 朱慧群 罗坚义 王忆 龙拥兵 文铨

文章页码：37 - 42

关键词：薄膜;多孔氧化硅;纳米线;纳米片;生长机理;

摘    要：薄膜的表面形貌与生长机理相关,因此可以通过研究薄膜表面形貌的演变来外推其生长机理。利用热蒸发法在硅片上制备了纳米多孔二氧化硅薄膜,利用扫描电镜（SEM）和X射线能谱（EDS）对不同样品的形貌、成分进行了表征。研究发现所制备的薄膜是由线状结构或直立的片状结构所构成的多孔结构。利用马拉高尼效应和润湿理论,对薄膜的气-液-固生长机理和氧化物辅助生长机理进行了探讨。