溶胶凝胶法制备VO2薄膜的组织与性能研究
来源期刊：功能材料2002年第1期
论文作者：魏建锋 谷臣清 孙军 赵康
关键词：VO2薄膜; V2O5凝胶; 电阻特性;
摘 要：采用V2O5熔体淬水制成胶体,并浸涂于不同的基片上,分别用于电阻检测和组织结构分析.经过真空加热分解V2O5凝胶薄膜,得到了具有相变特性的VO2薄膜.在真空热处理温度为500℃,时间为34h,真空气压为2Pa,得到的VO2相变薄膜电阻突变量级达3.4,相变温度在67℃左右.另外.TEM组织观察表明,VO2薄膜为多晶组织,VO2薄膜晶粒尺寸对电阻突变量级影响较大.晶粒尺寸增加,电阻突变量级增大.VO2晶界对相变有阻碍作用.
魏建锋1，谷臣清2，孙军1，赵康1
(1.西安交通大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710049;
2.西安理工大学材料科学与工程学院,陕西,西安,710048)
摘要:采用V2O5熔体淬水制成胶体,并浸涂于不同的基片上,分别用于电阻检测和组织结构分析.经过真空加热分解V2O5凝胶薄膜,得到了具有相变特性的VO2薄膜.在真空热处理温度为500℃,时间为34h,真空气压为2Pa,得到的VO2相变薄膜电阻突变量级达3.4,相变温度在67℃左右.另外.TEM组织观察表明,VO2薄膜为多晶组织,VO2薄膜晶粒尺寸对电阻突变量级影响较大.晶粒尺寸增加,电阻突变量级增大.VO2晶界对相变有阻碍作用.
关键词:VO2薄膜; V2O5凝胶; 电阻特性;
【全文内容正在添加中】
