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硅基平面波导材料的制作

来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期

论文作者：郑伟邢华韦占雄吴远大刘国范张玉书张乐天

关键词：火焰水解法(FHD); 波导; 玻璃态SiO2;

摘要：采用火焰水解法(FHD)在Si 基上淀积SiO2预制材料,然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380℃),制得玻璃化的SiO2 膜材料;该材料膜厚适中(10～30μm)、平整度好、光滑透明,适合制作单模、多模列阵平面波导光栅.并利用XRD、SEM、台阶仪等仪器对SiO2 膜进行了测试分析.

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郑伟¹，邢华¹，韦占雄¹，吴远大¹，刘国范¹，张玉书¹，张乐天¹

(1.吉林大学电子工程系光电子国家重点实验室,长春,130023)

摘要:采用火焰水解法(FHD)在Si 基上淀积SiO2预制材料,然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380℃),制得玻璃化的SiO2 膜材料;该材料膜厚适中(10～30μm)、平整度好、光滑透明,适合制作单模、多模列阵平面波导光栅.并利用XRD、SEM、台阶仪等仪器对SiO2 膜进行了测试分析.

关键词:火焰水解法(FHD); 波导; 玻璃态SiO2;

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