离子束辅助沉积TiN薄膜在模拟口腔溶液中的耐蚀性

来源期刊：腐蚀与防护2009年第8期

论文作者：李国明 孙世尧 陈学群

文章页码：558 - 560

关键词：Fe-Cr-Mo软磁合金;离子束辅助沉积;耐蚀性能;

摘    要：应用离子束辅助沉积技术（IBAD）在Fe-Cr-Mo合金基体上制备了TiN薄膜,在模拟口腔环境溶液中测定了其自腐蚀电位、腐蚀电流密度、极化电阻、极化曲线,并用未经表面镀膜的铁铬钼合金进行了对比。结果表明:经TiN薄膜处理的Fe-Cr-Mo软磁合金在口腔环境中的耐腐蚀性较未经表面镀膜处理的有明显提高;当氮气流量为1.5cm3/min,溅射时间为4 h,得到的膜厚为2μm,此时TiN膜在口腔溶液中的耐腐蚀性能最好。