简介概要

面向半导体设备的Interface A通信方法研究

来源期刊：机械设计与制造2012年第5期

论文作者：叶家发刘明哲

文章页码：273 - 275

关键词：半导体设备;Interface A;数据采集;工厂自动化;

摘要：针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。

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叶家发^1,2，刘明哲²

1. 中国科学院研究生院2. 中国科学院沈阳自动化研究所

关键词：半导体设备;Interface A;数据采集;工厂自动化;