简介概要

SiC/ZnO/Si镶嵌结构的光致发光研究

来源期刊：功能材料2010年第12期

论文作者：魏晋军马书懿

文章页码：2151 - 4308

关键词：磁控共溅射;复合薄膜;光致发光;

摘要：采用磁控溅射法制备了SiC/ZnO/Si镶嵌结构复合薄膜,对样品采用了不同的温度进行退火处理,测定了样品的光致发光图谱。结果显示,复合薄膜的光致发光强度较单体薄膜有一定的增强,主要原因是发光复合中心的多元化和分布浓度的增加;随着退火温度的不同,各峰位的变化趋势有所不同。

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魏晋军¹，马书懿²

1. 西北师范大学知行学院2. 西北师范大学物理与电子工程学院

关键词：磁控共溅射;复合薄膜;光致发光;