表面处理和涂层技术的新进展及新用途
来源期刊：稀有金属与硬质合金1997年第3期
论文作者：黄金昌 徐秀茹
文章页码：60 - 62
关键词：双重处理;涂层技术;低温PVD;
摘 要：物理气相沉积（PVD）已得到广泛的工业应用．而双重处理、低温沉积TiN和Ti2N等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未完全了解。本文则对这些涂层的基本工艺、主要性能和应用前景作一简要介绍。
黄金昌，徐秀茹
摘 要：物理气相沉积（PVD）已得到广泛的工业应用．而双重处理、低温沉积TiN和Ti2N等新的涂层技术目前正在研究中，其应用领域人们尚未完全了解。本文则对这些涂层的基本工艺、主要性能和应用前景作一简要介绍。
关键词：双重处理;涂层技术;低温PVD;
