物理气相沉积在耐腐蚀涂层中的应用

顾剑锋^1,2，李沛¹，钟庆东¹

1. 上海大学省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室2. 南通职业大学机械工程学院

摘 要：PVD(物理气相沉积)作为一种新型绿色的镀膜技术,由于涂层具备硬度高、耐磨性好、摩擦系数低、化学性能稳定、耐热耐氧化的特点,使其在机械、电子和光学行业得到广泛应用。近些年来随着PVD技术应用领域的不断扩展,对涂层的性能提出了更高要求,在保障力学性能的同时,如何提高涂层耐蚀性成为研究热点。概述了PVD技术应用于材料防腐的相关研究,综述了PVD涂层的成分、结构与耐蚀行为的关系,同时分别阐述了在PVD技术中提高涂层耐蚀性能的方法与机理。

关键词：物理气相沉积;抗腐蚀;化学成分;涂层结构;膜基界面;