低压MOCVD生长TiO2薄膜结构和电性能研究
来源期刊：功能材料2002年第3期
论文作者：侯云 许效红 王栋 王卓 王弘 王民
关键词：金属有机化学气相沉积; MOCVD; TiO2薄膜; 金红石;
摘 要：采用低压MOCVD法沉积生长了TiO2薄膜,研究了Si衬底取向、退火温度、退火时间、退火气氛对其结构和电性能的影响.结果表明,500℃下沉积生长于Si(111)和Si(100)上的TiO2薄膜为锐钛矿相多晶膜,经过600℃以上退火处理后,均可转变为纯金红石相结构.其中,Si(111)上的TiO2薄膜更容易转变为金红石相结构,而Si(100)上的TiO2薄膜,需要更高的退火温度和更长的退火时间才能转变为金红石结构.结果还表明,退火气氛中的氧分压的大小对TiO2薄膜的结构无明显的影响.
侯云1，许效红2，王栋1，王卓1，王弘1，王民1
(1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100;
2.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100；山东大学,化学与化工学院,山东,济南,250100)
摘要:采用低压MOCVD法沉积生长了TiO2薄膜,研究了Si衬底取向、退火温度、退火时间、退火气氛对其结构和电性能的影响.结果表明,500℃下沉积生长于Si(111)和Si(100)上的TiO2薄膜为锐钛矿相多晶膜,经过600℃以上退火处理后,均可转变为纯金红石相结构.其中,Si(111)上的TiO2薄膜更容易转变为金红石相结构,而Si(100)上的TiO2薄膜,需要更高的退火温度和更长的退火时间才能转变为金红石结构.结果还表明,退火气氛中的氧分压的大小对TiO2薄膜的结构无明显的影响.
关键词:金属有机化学气相沉积; MOCVD; TiO2薄膜; 金红石;
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