正交实验法优选电沉积Co-Pt-W磁性薄膜制备工艺
来源期刊：功能材料2006年第11期
论文作者：卫国英 吴琼 葛洪良 周巧英 王新燕
关键词：正交实验设计; 电沉积薄膜; 硬磁性;
摘 要：利用正交设计L25(56)安排实验,分别以矫顽力和磁滞回线的方形度为考察指标,通过极差分析和方差分析优化Co-Pt-W磁性薄膜电沉积制备工艺,结合工业生产的实际需求,得到Na2WO4·2H2O及(NH4)2C6H6O7浓度分别为0.08L、0.198mol/L,电流密度为5mA/cm2,温度为60℃的制备条件为最佳组合.在此条件下制备了Co-Pt-W薄膜样品,并对其磁性能进行验证,对结构和形貌进行了测量.结果表明hcp结构有利于电沉积Co-Pt-W薄膜的硬磁性能.
卫国英1，吴琼1，葛洪良1，周巧英1，王新燕1
(1.中国计量学院理学院,浙江,杭州,310018)
摘要:利用正交设计L25(56)安排实验,分别以矫顽力和磁滞回线的方形度为考察指标,通过极差分析和方差分析优化Co-Pt-W磁性薄膜电沉积制备工艺,结合工业生产的实际需求,得到Na2WO4·2H2O及(NH4)2C6H6O7浓度分别为0.08L、0.198mol/L,电流密度为5mA/cm2,温度为60℃的制备条件为最佳组合.在此条件下制备了Co-Pt-W薄膜样品,并对其磁性能进行验证,对结构和形貌进行了测量.结果表明hcp结构有利于电沉积Co-Pt-W薄膜的硬磁性能.
关键词:正交实验设计; 电沉积薄膜; 硬磁性;
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