微条气体室基板研究
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第2期
论文作者：夏义本 苏青峰 王林军 杨莹 张明龙 汪琳
关键词：微条气体室(MSGC); 探测器; 基板; 金刚石膜/硅复合材料; micro - strip gas chambers(MSGC); detector; substrate; diamond film/silicon composite material;
摘 要：提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达2.9×10 10Ω·cm,电容值小且频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求,是一种应用前景极其广泛的MSGC衬底材料.
夏义本1，苏青峰1，王林军1，杨莹1，张明龙1，汪琳1
(1.上海大学材料科学与工程学院,上海,201800)
摘要:提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性.采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I-V和C-F特性进行了表征.结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达2.9×10 10Ω·cm,电容值小且频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求,是一种应用前景极其广泛的MSGC衬底材料.
关键词:微条气体室(MSGC); 探测器; 基板; 金刚石膜/硅复合材料; micro - strip gas chambers(MSGC); detector; substrate; diamond film/silicon composite material;
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