反应溅射Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能
来源期刊：功能材料2005年第1期
论文作者：胡晓萍 董云杉 顾明元 李戈扬 孔明
关键词：反应溅射; 纳米晶复合薄膜; 微结构; 力学性能;
摘 要：采用Ar、N2和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N薄膜,并采用EDS、AES、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的微结构和力学性能.结果表明通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜.当Si含量达到3.5%(原子分数)时,薄膜中出现TiSix界面相,造成(Ti,Al)N晶粒细化,使薄膜力学性能得到提高,硬度和弹性模量的最高值分别为36.0GPa和400GPa.进一步提高Si含量,薄膜的力学性能逐渐降低.
胡晓萍1，董云杉1，顾明元1，李戈扬1，孔明1
(1.上海交通大学,金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030)
摘要:采用Ar、N2和SiH4混合气体反应溅射制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N薄膜,并采用EDS、AES、XRD、TEM和微力学探针研究了薄膜的微结构和力学性能.结果表明通过控制混合气体中SiH4分压可以方便地获得不同Si含量的Ti-Al-Si-N纳米晶复合薄膜.当Si含量达到3.5%(原子分数)时,薄膜中出现TiSix界面相,造成(Ti,Al)N晶粒细化,使薄膜力学性能得到提高,硬度和弹性模量的最高值分别为36.0GPa和400GPa.进一步提高Si含量,薄膜的力学性能逐渐降低.
关键词:反应溅射; 纳米晶复合薄膜; 微结构; 力学性能;
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