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薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用

来源期刊：材料导报2006年第11期

论文作者：吴孟强张树人蒋松涛吴勇

关键词：体声波; 谐振器; 滤波器; 压电薄膜;

摘要：薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选.系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用.

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吴孟强¹，张树人¹，蒋松涛¹，吴勇¹

(1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都,610054)

摘要:薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选.系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用.

关键词:体声波; 谐振器; 滤波器; 压电薄膜;

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