基于光子晶体微腔和光纤环形衰荡的微力传感器

来源期刊：东北大学学报(自然科学版)2018年第1期

论文作者：钱晓龙 张亚男

文章页码：11 - 14

关键词：光子晶体微腔;M型梁;微力传感器;光纤环形衰荡;品质因子;

摘    要：提出一种基于光子晶体微腔的高灵敏度的微力测量方法.首先,提出一种M型结构的梁作为传感探头,使系统在受到微力作用时,仅有光子晶体微腔的空气孔折射率发生变化而引起谐振波长的漂移,极大地提高了传感器的线性度和测量范围.然后,对微纳环结构的光子晶体微腔结构进行优化设计,获得了品质因子高达7 100的微腔.最后,选择合适的实验器件及其特性参数,搭建基于光纤环形衰荡的波长解调系统,实验结果表明该系统的波长解调灵敏度为90μs/nm,所设计的微力测量系统的灵敏度可达194.616μs/μN.