大面积高光学质量金刚石自支撑膜的制备
来源期刊：材料研究学报2001年第1期
论文作者：张永贵 佟玉梅 李国华 孙振路 于文秀 宋建华 罗廷礼 何其玉 唐伟忠 郭辉 吕反修 刘敬明
关键词：直流; 电弧等离子; 体炬; 气体循环; 大面积; 高光学质量; 金刚石自支撑膜;
摘 要：介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建造了100千瓦级高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统.讨论了该系统采用的半封闭式气体循环系统的工作原理,以及在气体循环条件下制备大面积高光学质量金刚石自支撑膜的研究结果.
张永贵1，佟玉梅2，李国华1，孙振路1，于文秀2，宋建华2，罗廷礼1，何其玉1，唐伟忠2，郭辉1，吕反修2，刘敬明2
(1.河北省科学院;
2.北京科技大学材料学院)
摘要:介绍了一种新型的磁控/流体动力学控制的大口径长通道直流电弧等离子体炬,并据此设计建造了100千瓦级高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜沉积系统.讨论了该系统采用的半封闭式气体循环系统的工作原理,以及在气体循环条件下制备大面积高光学质量金刚石自支撑膜的研究结果.
关键词:直流; 电弧等离子; 体炬; 气体循环; 大面积; 高光学质量; 金刚石自支撑膜;
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