影响二氧化钛薄膜晶体结构的因素及研究进展
来源期刊：材料导报2005年增刊第1期
论文作者：匡同春 成晓玲 曾鹏 谢光荣 胡社军
关键词：TiO2; 微观结构; 纳米薄膜;
摘 要：近年来,TiO2功能薄膜以其卓越的性能,尤其是优异的光催化性能,引起了国内外广泛关注.针对纳米TiO2功能薄膜气相沉积制备方法中影响TiO2薄膜结构的关键因素(如基体温度、退火温度、基片种类、氧分压、掺杂等)进行了系统总结,并介绍了其研究进展.
匡同春1，成晓玲2，曾鹏3，谢光荣3，胡社军4
(1.华南理工大学分析测试中心,广州,510640;
2.广东工业大学分析测试中心,广州,510090;
3.广东工业大学材料与能源学院,广州,510090;
4.华南师范大学物理与电信工程学院,广州)
摘要:近年来,TiO2功能薄膜以其卓越的性能,尤其是优异的光催化性能,引起了国内外广泛关注.针对纳米TiO2功能薄膜气相沉积制备方法中影响TiO2薄膜结构的关键因素(如基体温度、退火温度、基片种类、氧分压、掺杂等)进行了系统总结,并介绍了其研究进展.
关键词:TiO2; 微观结构; 纳米薄膜;
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