射频磁控溅射法制备La_0.9Sr_0.1Ga_0.8Mg_0.2O_3-δ电解质薄膜的研究

孙红燕^1,2，马文会^1,2，陈秀华³，于洁^1,2，林航昇^1,2

1. 真空冶金国家工程实验室2. 昆明理工大学冶金与能源工程学院3. 云南大学物理科学技术学院

摘 要：采用射频磁控溅射法成功地在多孔La0.7Sr0.3Cr0.5Mn0.5O3-δ（LSCM7355）阳极基底上制备了致密的LSGM电解质薄膜层。研究结果表明,当溅射功率为210W、基底温度为300℃、溅射气氛氩气压强为5Pa、溅射时间为12h,得到表观形貌较好、厚度约为10μm的LSGM电解质薄膜。在1000℃空气气氛中退火2h后,电解质薄膜物相结构符合多晶态钙钛矿型结构。

关键词：固体氧化物燃料电池;LSGM;RF磁控溅射;薄膜;