Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2006年增刊第1期
论文作者：苏振访 封顺珍 杨素娟 胡骏 许佳玲 于红云 孙会元
关键词：FePt/Ti颗粒膜; 对靶磁控溅射系统; 磁记录介质; FePt/Ti granular films; facing-target magnetron sputtering system; magnetic recording media;
摘 要：在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30nm)/Ti(tnm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火.详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响.X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和FePt形成了三元FePtTi合金.当Ti层厚度t=5 nm、退火温度Ta=500℃时,样品具有高度有序的L10织构、小的颗粒尺寸和优异的磁特性.矫顽力超过了6.7 kOe,饱和磁化强度为620emu/cc.并且具有较小的开关场分布.结果表明FePt/Ti颗粒膜系统可作为超高密度磁记录介质的候选者.
苏振访1，封顺珍1，杨素娟1，胡骏1，许佳玲1，于红云1，孙会元1
(1.河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北,石家庄,050016)
摘要:在室温下,应用对靶直流磁控溅射设备在普通玻璃基片上制备了FePt(30nm)/Ti(tnm)颗粒膜样品,随后,在真空中进行了原位退火.详细研究了Ti衬底层对FePt颗粒膜的微结构和磁特性的影响.X射线衍射图谱表明样品形成了较有序的L10织构,Ti和FePt形成了三元FePtTi合金.当Ti层厚度t=5 nm、退火温度Ta=500℃时,样品具有高度有序的L10织构、小的颗粒尺寸和优异的磁特性.矫顽力超过了6.7 kOe,饱和磁化强度为620emu/cc.并且具有较小的开关场分布.结果表明FePt/Ti颗粒膜系统可作为超高密度磁记录介质的候选者.
关键词:FePt/Ti颗粒膜; 对靶磁控溅射系统; 磁记录介质; FePt/Ti granular films; facing-target magnetron sputtering system; magnetic recording media;
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