简介概要

工艺参数对水体系中电沉积制备Ir层表面形貌的影响(英文)

来源期刊:稀有金属材料与工程2012年第7期

论文作者:钱建刚 肖世明 赵天 栾海静

文章页码:1139 - 1143

关键词:电沉积;铱;工艺参数;

摘    要:在水体系中利用直流电沉积的方法以IrCl3为主盐在铂基体上制备出了Ir层。利用SEM、EDS和XPS对不同工艺参数下所制备Ir层的表面形貌及成分进行了分析,并最终获得了最优的电沉积工艺条件。结果表明:IrCl3主盐浓度对Ir层形貌有较大影响,浓度太低时电沉积的铱层太薄,导致铱层易起皮或产生裂纹,故适当提高主盐的浓度有利于改善Ir层质量;在一定的pH值范围内,电沉积所制备的Ir层表面形貌差别不大,表面均比较平整,Ir颗粒比较均匀、致密;电流密度对Ir层表面形貌尤其是对Ir层结晶颗粒的大小和致密性影响较大;电沉积溶液的温度太低时,不能沉积出Ir层,温度太高时,则沉积出的Ir层粗糙、表面形貌不均匀。

详情信息展示

工艺参数对水体系中电沉积制备Ir层表面形貌的影响(英文)

钱建刚,肖世明,赵天,栾海静

北京航空航天大学 仿生智能界面科学与技术教育部重点实验室

摘 要:在水体系中利用直流电沉积的方法以IrCl3为主盐在铂基体上制备出了Ir层。利用SEM、EDS和XPS对不同工艺参数下所制备Ir层的表面形貌及成分进行了分析,并最终获得了最优的电沉积工艺条件。结果表明:IrCl3主盐浓度对Ir层形貌有较大影响,浓度太低时电沉积的铱层太薄,导致铱层易起皮或产生裂纹,故适当提高主盐的浓度有利于改善Ir层质量;在一定的pH值范围内,电沉积所制备的Ir层表面形貌差别不大,表面均比较平整,Ir颗粒比较均匀、致密;电流密度对Ir层表面形貌尤其是对Ir层结晶颗粒的大小和致密性影响较大;电沉积溶液的温度太低时,不能沉积出Ir层,温度太高时,则沉积出的Ir层粗糙、表面形貌不均匀。

关键词:电沉积;铱;工艺参数;

<上一页 1 下一页 >

有色金属在线官网  |   会议  |   在线投稿  |   购买纸书  |   科技图书馆

中南大学出版社 技术支持 版权声明   电话:0731-88830515 88830516   传真:0731-88710482   Email:administrator@cnnmol.com

互联网出版许可证:(署)网出证(京)字第342号   京ICP备17050991号-6      京公网安备11010802042557号