丝网印刷纳米ZnO薄膜阴极场致发射的研究
来源期刊：材料导报2009年第20期
论文作者：魏舒怡 张秀霞 朱长纯
关键词：丝网印刷; 纳米ZnO薄膜; 场致发射冷光源; screen-printed; nano-ZnO film; field emission;
摘 要：鉴于化学气相沉积生长方法成本高且很难制备出大面积均匀的纳米ZnO薄膜,采用成本低的丝网印刷方法制备了大面积纳米ZnO阴极薄膜.测试研究了分散、热烧结、退火处理对ZnO薄膜的场致发射特性的影响,提出了低成本丝网印刷制备大面积ZnO薄膜阴极热烧结和退火处理的工艺,根据样品的形貌、发射特性和均匀稳定发光的阳极可以判断,最高温度843K的热烧结和823K、10min的退火处理适实用于制作大面积纳米ZnO薄膜场致发射阴极.
魏舒怡1，张秀霞2，朱长纯3
(1.中国科学院研究生院,北京,100049;
2.北方民族大学电信学院,银川,750021;
3.西安交通大学电子与信息工程学院,西安,710049)
摘要:鉴于化学气相沉积生长方法成本高且很难制备出大面积均匀的纳米ZnO薄膜,采用成本低的丝网印刷方法制备了大面积纳米ZnO阴极薄膜.测试研究了分散、热烧结、退火处理对ZnO薄膜的场致发射特性的影响,提出了低成本丝网印刷制备大面积ZnO薄膜阴极热烧结和退火处理的工艺,根据样品的形貌、发射特性和均匀稳定发光的阳极可以判断,最高温度843K的热烧结和823K、10min的退火处理适实用于制作大面积纳米ZnO薄膜场致发射阴极.
关键词:丝网印刷; 纳米ZnO薄膜; 场致发射冷光源; screen-printed; nano-ZnO film; field emission;
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