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一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜

来源期刊:材料导报2002年第5期

论文作者:乔学亮 孙增辉 程宇航

关键词:光学增透; DLC薄膜; CN薄膜;

摘    要:光学增透薄膜是一种很重要的光学材料,传统的MgFz和ZnS增透膜具有强度低的缺陷,已经不能满足现代科技进步的需要.回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况,讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性.从理论和实践两个方面进行了探讨,结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景.

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一种新型的光学增透膜——DLC及改性DLC薄膜

乔学亮1,孙增辉1,程宇航1

(1.华中科技大学材料学院,武汉,430074)

摘要:光学增透薄膜是一种很重要的光学材料,传统的MgFz和ZnS增透膜具有强度低的缺陷,已经不能满足现代科技进步的需要.回顾了近年来关于DLC薄膜和CN薄膜光学性能的研究情况,讨论了改性的DLC薄膜用做增透膜的可行性.从理论和实践两个方面进行了探讨,结果表明DLC薄膜和CN薄膜在光学增透领域具有广阔的应用前景.

关键词:光学增透; DLC薄膜; CN薄膜;

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