溶胶-凝胶法制备V₂O₅薄膜经不同温度热处理后的微观结构

来源期刊：机械工程材料2011年第10期

论文作者：彭雁 詹肇麟

文章页码：70 - 72

关键词：V2O5薄膜;溶胶-凝胶法;电磁-超声波搅拌;

摘    要：以分析纯V2O5粉体为原料、H2O2为溶剂,采用电磁-超声波搅拌方式的无机溶剂-凝胶工艺,在ITO导电玻璃衬底上制备了V2O5薄膜;并研究了热处理温度对其形貌和结构的影响。结果表明:室温下V2O5薄膜为非晶无定形结构,400℃热处理后,薄膜中出现了β-V2O5相,450℃热处理后基本上全为β-V2O5相,500℃热处理后又出现了α-V2O5相;薄膜在350～400℃热处理后,表面较平滑、均匀,出现颗粒;450℃热处理后主要由瓣状、片状及短棒状多晶堆积而成;500℃热处理后主要由棒状多晶组成。