Au-MgF2与Ag-MgF2靶材制备的实验研究
来源期刊：贵金属2007年第2期
论文作者：张辉 付兴国 张鹏翔 唐亚陆 陈亮维
关键词：金属材料; Au-MgF2; Ag-MgF2; PLD; 烧结温度; MgO; XRD检测;
摘 要：Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法.文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法.通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法.
张辉1，付兴国2，张鹏翔1，唐亚陆1，陈亮维3
(1.昆明理工大学,光电子新材料研究所,云南,昆明,650093;
2.淮阴工学院,江苏,淮安,223001;
3.昆明贵金属研究所,云南,昆明,650221)
摘要:Au-MgF2与Ag-MgF2薄膜是一种新型复合材料,PLD和磁控溅射是很好的镀薄膜方法.文章介绍了MgF2靶材、Ag-MgF2靶材及Au-MgF2靶材的制备方法.通过实验摸索,得出MgF2靶材的压片条件;通过不同温度下烧结MgF2靶材,得出了MgF2被氧化的初始温度及其烧结的最佳温度和烧结时间;通过与真空炉烧结及氩气保护中烧结对比,获得在空气氛围中烧结MgF2的简易方法.
关键词:金属材料; Au-MgF2; Ag-MgF2; PLD; 烧结温度; MgO; XRD检测;
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